SK-1300系列在光学特性方面是最先进的技术,因为它提供了很高的分辨率紫外线透射,无微夹杂,耐日晒,此外还具有耐热性、机械强度和耐化学性。 这些产品可用于半导体、光学和所有物理或化学相关研究的各种工业应用。
可用于: 各种器件的晶片,如TFT(多晶硅薄膜晶体管LCD)、SOI(绝缘硅)等;超大规模集成电路和液晶显示器用光掩模基板;ULSI制造工艺用反应器炉管、夹具和工具;放电管;用于紫外和真紫外的光学元件,透镜,反射镜,窗口。
产品特点
1. 超高纯度(总金属杂质小于0.5ppm);
2. OH含量可控制在1 ppm或以下((SK-1310);
3. 确保高耐热性;
4. 实现高传输(SK-1310在紫外线、可见光和红外的整个波长范围内都具有优异的特性);
5. 不含气泡或条纹;
6. 优异的抗激光性能

等级 | 最大尺寸(mm) | 条纹1) | 均匀性2) | 双折射2) (nm/cm²) |
气泡杂质3) (mm²/100cm³) |
荧光4) | 最佳透过范围(nm) (>80%) |
SK-1300 | Φ850 xt150 | Class 1 Grade"A" |
NS | ≤10 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1320L5) | Φ600 xt100 | Class 1 Grade"A" |
NS | ≤5 | 0 ~ 0.03 | 无 | 170~2500 |
SK-1321 | Φ500 xt150 | Class 1 Grade"A" | 1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1321L5) | Φ500 xt100 | Class 1 Grade"A" |
1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 无 | 170~2500 |
SK-1322 | Φ500 xt150 | Class 3 Grade"A" |
3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1322L5) | Φ500 xt100 | Class 3 Grade"A" | 3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 无 | 170~2500 |
SK-1310 | Φ600xt150 | Class 1 GradeHA" | NS | 未标明 | 0 ~ 0.03 | NS | 185~2700 |
NS: Not Specified
备注:
1) MIL-G-174定义
2) 有效面积为直径的10%。可根据要求提供高均匀性和双折射
3) 包含符合DIN58927定义的“A”级。
4) 能量密度≤30mJ/cm²入=248nm。可根据要求使用高能激光。
5) 耐久性∶30 mJ/cm²·200次激发后,≤0.1%/cm 在λ=248nm条件下,
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视觉成像手册:手册中的产品包括有:定焦镜头、远心镜头、变焦变倍镜头、线扫镜头、短波近红外镜头(SWIR)、360°外侧环视镜头、VIS-NIR镜头、中继镜、增距镜,远红外镜头、相机等。除了标准镜头产品外,还提供镜头的设计与开发。
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